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压阻式压力传感器

压阻式压力传感器

压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。中文名 压阻式压力传感器 外文名 Piezoresistive pressure sensor 又 称 扩散硅压力传感器 类 型 压力式传感器的一种 核心部分 N型的圆形硅膜片 应 用 航天、航空、航海、石油化工1压阻

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